EVS 探針卡

EVS 探針卡為優化自傳統垂直式探針卡，具備更高的耐電流 (C.C.C.) 和更低的測試針壓 (BCF)，同時擁有近似 MEMS 的特性。EVS 探針卡能輕鬆滿足先進晶圓的測試需求。精確的對位和優異的平整度控制是確保穩定接觸電阻的關鍵因素，憑藉其出色的能力和穩定的性能，EVS 探針卡是先進測試的理想選擇。

 

EVS 探針卡主要特點：

 

• 同時具備 MEMS 針種特性
• 提供平頭針和尖頭針兩種探針形態
• 在待測物上留下更小的針測刮痕
• 適用於 80μm 以上的間距
• 測試針壓比傳統垂直式探針低 50％
• 耐電流比傳統垂直式探針高 40％
• 較長的針尖設計具有更長的使用壽命
• 與 MPI 自製基板 (Substrate) 搭配使用