EVS探針卡
EVS探針卡為優化自傳統垂直式探針卡，具備更高的耐電流（C.C.C.）和更低的測試針壓（BCF），同時擁有近似MEMS的特性。EVS探針卡能輕鬆滿足先進晶圓的測試需求。精確的對位和優異的平整度控制是確保穩定接觸電阻的關鍵因素，憑藉其出色的能力和穩定的性能，EVS探針卡是先進測試的理想選擇。
EVS探針卡主要特點：
- 同時具備MEMS針種特性
- 提供平頭針和尖頭針兩種探針形態
- 在待測物上留下更小的針測刮痕
- 適用於80μm以上的間距
- 測試針壓比傳統垂直式探針低50％
- 耐電流比傳統垂直式探針高40％
- 較長的針尖設計具有更長的使用壽命
- 與MPI自製基板(Substrate)搭配使用