MPI 懸臂式探針卡

Cantilever Probe Card designed for the most cost-effective production

MPI懸臂式探針卡(Cantilever Probe Cards)全球市佔率排名第1,廣泛應用於各客戶的銲墊(pad)及金凸塊(gold bump)測試,藉由不斷的技術創新以因應半導體晶圓製程能力提升及封裝技術演進的測試需求,持續精進狹間距(fine pitch)、小銲墊(small pad size)、高速測試(high speed) 、少清針(less cleaning)、多晶片平行測試(multi-DUT) 、高針數(high pin count)以及超低漏電流(ultra-low leakage)等技術能力,以滿足客戶未來的測試需求。

Cantilever Probe Cards

MPI懸臂式探針卡藉由優越的製作工藝、創新的結構及方法,並搭配機械及電性的模擬分析及量測能力,開發出客戶所需的各項產品。以產品的應用來區分,主要包含有液晶顯示器驅動晶片探針卡LCD Driver Probe Card邏輯晶片探針卡Logic Probe Card參數測試探針卡Parametric (WAT) Probe Card影像感測晶片探針卡CMOS Image Sensor (CIS) Probe Card

由於半導體製程及封裝技術的演進,半導體測試的機械及電性規格不斷提升,使得探針卡的設計及製作難度日益升高,參考國際半導體技術藍圖制定會(ITRS)的資料,將晶圓針測(Wafer Probing)的技術挑戰條列如下:

  • 幾何尺寸(Geometry)
  • 平行測試(Parallel test)
  • 溫度測試(Probing at temperature)
  • 產品結構(Product)
  • 探針力學(Probe force)
  • 探針清潔(Probe cleaning)
  • 高功率元件(High power devices)
  • 接觸電阻(Contact resistance)
  • 高頻測試(High frequency probing)

MPI懸臂式探針卡依據客戶的需求,克服各種技術挑戰,提供客戶完整的解決方案及服務,分述如下:

  • 在Geometry方面,MPI懸臂式探針卡對於周圍式(peripheral)分佈的狹間距及多排交錯(staggered)銲墊具備優異的能力,並且滿足小銲墊測試。
  • 在Parallel Test方面,MPI懸臂式探針卡可依照客戶的需求,以斜向(diagonal)或直向(shelf)的排列方式製作多晶片平行測試探針卡,並能達到良好的針位(alignment)及水平(planarity)性能。
  • 在Probing at Temperature方面,MPI懸臂式探針卡以特殊的設計方式減少熱變形量(thermal deformation),滿足高溫及低溫的測試需求。
  • 在Product及Probe Force方面,MPI懸臂式探針卡經由適當的接觸力(contact force)設計及控制,滿足鋁銲墊(aluminum pad)、銅銲墊(copper pad)、溝槽式銅銲墊(slotted copper pad)、低介電常數材料(low k dielectric)及銲墊下方具有電路[CUP(circuit under pad)/POAC(probing over active circuitry)]的測試需求,並且避免發生銲墊損傷(damage)或中間介電層(ILD, interlayer dielectric)損傷。
  • 在Probe Cleaning方面,MPI懸臂式探針卡開發出金凸塊測試用的少清針探針材料(例如A+),並藉由探針的設計,進一步降低清針及維修次數,增加探針卡的壽命(lifetime)。
  • 在High Power Devices方面,MPI懸臂式探針卡針對不同元件特性採用適當的設計,滿足客戶耐電流(CCC, current carrying capability)的需求。
  • 在Contact Resistance方面,MPI懸臂式探針卡經由適當的探針材料及設計,提供穩定的低接觸電阻性能。
  • 在High Frequency Probing方面,MPI懸臂式探針卡開發出高速探針架構(例如R+、U+),並搭配創新的整卡結構及方法,滿足客戶信號完整性(SI, signal integrity)及電源完整性(PI, power integrity)的需求。
懸臂式探針卡-液晶顯示器驅動晶片探針卡

液晶顯示器驅動晶片探針卡

懸臂式探針卡-邏輯晶片探針卡

邏輯晶片探針卡

懸臂式探針卡-參數測試探針卡

參數測試探針卡

懸臂式探針卡-影像感測晶片探針卡

影像感測晶片探針卡