董事會
除依法董事會執行治理作業對股東會負責，先後於 2011年、 2020年設置薪資報酬委員會與審計委員會，負責監督公司各項治理議題。
ESG永續委員會
於2022年設立永續委員會，負責執行本公司永續發展推動情形及利害關係人溝通情形進行報告，強化永續發展執行與績效管理追蹤，並確保企業永續管理落實。
盡職調查
為善盡負責任廠商，遵循國際與行業標準，針對員工與供應鏈夥伴進行人權與永續管理作業，包含進行勞工及道德風險評估、利益衝突申報、供應商RBA稽核與建立吹哨者檢舉機制。
環境與職業安全責任
為降低營運風險與環境衝擊，透過 ESG永續委員會、職業安全委員會等由高階主管共同監督管理工廠在安全、環境、能源各面項發展，包含法令遵循、職業安全評估與管理、溫室氣體盤查與自主減量管理、廢氣污染控制、有害物質減量、水資源利用、綠色產品規劃等，實現企業在永續環境與職業安全責任。
資訊安全與隱私保護
為能建立有效的資訊安全與隱私保護，於2015年取得ISO 27001資訊安全管理系統驗證，透過多年之管理運作與持續改善，並由資訊安全委員會監督，確保利害關係人資訊安全與員工隱私不外洩。
透明化與報告
每年旺矽科技皆會依據治理執行情形，依循法規與國際標準要求揭露並更新於永續報告書、財務年報、公開觀測資訊站、官方網頁等公開揭露區域，使各利害關係人可透過透明且清晰的數據與績效指標，完整瞭解旺矽科技之永續與治理表
